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最新消息| AdvancedEnergy以精密電源解決方案助力推動40年芯片制造... | 2024-11-05 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=i6z0cR7zZMQYpwRkeB4k5uzkvMpQxbjSqZL51DWqo8T4b-mr3-SG6GAucVSwYPgXLKiG8RGe6fcM6r5l3n0Fituwj9Ie3GzyfEQN3kM3SAO" 1981年因多項技術突破而備受矚目，這一年也見證了哥倫比亞號航天飛機的首次飛行任務和德勞瑞恩汽車的首次亮相。IBM PC、Commodore 64和ZX81三家公司的個人電腦輪番上市。AE也于四十年前成立，并通過提供高性能、關鍵應用的精密電源解決方案，邁出了實現客戶創新使命的第一步。nn很多在我們現在看來越來越想當然的技術，比如物聯網（IoT）、工業4.0、云計算、可再生能源等，當時只是處于起步階段。幾乎沒人能預料到全球電子行業在接下來的40年里會產生如此巨大的影響，而現在它幾乎觸及了我們日常生活的各個方面。快進到2021年，很難想象在沒有現代電子技術所帶來的工具、平臺、系統和基礎設施的情況下際遇一場席卷全球的疫情。nn隨著電子產品變得無處不在，在各種工業、醫療和消費應用中持續改進和提高生產力的動力也隨之而來。但在提高性能、增強功能、縮小外形尺寸、增加電子設備和元件與系統級別的生產效率方面，目前仍面臨很大的壓力。半導體制造商已經通過設計更精密的設備來滿足這些要求，這反過來又推動了更復雜的集成電路制造工藝和更先進的工藝管理方法。nn工藝電源創新的節點nn用于半導體制造的刻蝕和沉積的等離子體工藝電源正是踩著摩爾定律的節點進行著不斷創新。射頻功率輸出系統的發展已經從早期的基于變壓器和管道的固定匹配網絡的射頻電源產生了飛躍進步。帶有自動調諧匹配網絡的開關模式電源（SMPS）是早期的一個飛躍，它為較小外形尺寸的等離子體工藝實現了可靠、穩定和高效的功率輸送。nnn因此，腔體模塊可以更緊密地進行封裝，使晶圓產量更高，每片晶圓成本更低。接著，又躍升至混合數字模擬控制，以提供高精度的連續波（CW）射頻功率。近年來，技術水平得到了進一步發展，在自動調頻、復雜脈沖波形和高速脈沖方面實現了全數字化控制。nn在等離子體工藝功率發展過程中的另一重大飛躍：射頻功率發生器和匹配網絡集成后，可實現快速調諧和直接功率調節。外形緊湊，使復雜的機臺設計成為可能，同時在寸土寸金的半導體工廠潔凈室中占用了盡可能少的面積。此外，機械驅動的真空電容器可以被匹配網絡中的固態開關取代，快速、可靠且可重復。nn隨著工藝創新推動了更復雜的蝕刻圖形步驟，產生了合并多個頻率的需求。目前，多頻射頻功率系統用于將等離子體密度的產生與離子能量的控制（這是在高深寬比（HAR）蝕刻應用中的一個重要因素）單獨或去耦合。如今的集成射頻功率 關鍵字標籤：電子負載 |
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